6 工位排气台案例

第一条 设备用途

本设备主要用于 X 光管的生产制备,要求具备超高真空抽气系统真空度高,烘烤温度均匀、热损失小、耗能低、操作维修方便等特点。

第二条 技术参数

本设备的主要技术指标如下：

a ． 结构形式： 2 个单腔室 3 工位结构，带立式升降的烘烤箱

b ．单个真空腔尺寸： φ160×400（L）mm，排气口间距 130mm。带 1 个 CF150 的闸板主阀， 1 个预抽阀和 1 个放气阀。

c ． 极限真空度： 9×10-6 Pa（24 小时），使用一个月以后极限真空 7×10-6 Pa

d ．压升率： <0.5Pa/h

e ． 烘箱加热功率： ~7kW

f ．烘箱加热温度：~600℃

g ． 排气台设备整体包 2mm 厚铅

第三条 设备配置及说明

该设备由腔体机架、烘箱加热系统、真空系统(含真空解除充气系统)、水冷系统、气

路系统、电控系统等六部分组成。 （设备主体结构见附件）

腔体机架： 真空腔采用内径Φ157mm 壁厚 2mm 的 316L 卫生级无缝管， 内壁镜面抛光, 表面喷砂亚光处理。机架采用碳钢型材焊接，门板采用 304 不锈钢，外包铅，造型美观大方。

烘烤加热系统： 采用双层不锈钢内衬保温棉结构， 总功率为 7KW 的电热丝环绕烘箱内

壁，加热均匀，保温效果好。

真空系统： 真空系统由机械干泵、分子泵、主阀、前级预抽阀、放气阀和真空管路等 组成。分子泵选用中科科仪FF160/620C分子泵，抽速 700L/s，泵的极限真空度为6×10-8Pa， 前级泵采用鲍斯股份抽速为 8L/s 的无油干泵，主阀采用 CF150 的气动插板阀，前级预抽 阀采用 DN40 气动挡板阀， 预抽采用 DN25 的气动挡板阀，放气阀采用 DN16 气动挡板阀，所有阀门均采用 304 不锈钢材质阀门。 被抽工件（玻壳）离地高度小于 1 米。

测量控制系统： 真空测量系统低真空采用复合真空计， 选用成都睿宝 ZDF5201 型，高

真规管采用 ZJ-12 型超高真空热阴极电离规， 确保真空度测量准确性。

电器控制系统：

采用西门子 PLC 加 15 寸触摸屏进行控制。真空系统泵和阀门控制均集中在触摸屏进 行控制。采集电流、电压、温度、气压、水压等数据， 集中在屏上显示。并设有多个系统

保护控制点，保证系统安全可靠运行。

主要设备配置清单（略）

随机文件：

设备使用维护说明书 1 套 交货时交付

电气控制原理图 1 套 交货时交付

主要配套件说明书 1 套 交货时交付

甲方安装现场条件：

1、电源：～10KVA、380V、三相、 50Hz；

2、压缩空气源： 0.4～0.8MPa；

3、冷却循环水：进水温度≤32℃、进水压力： 0.018～0.024MPa。

第四条 质量保证

按照 ISO9001 质量体系认证要求，针对客户定制非标设备全制程导入质量控制计划,

从设计输入开始到设备制造全过程采用项目式管理。研制过程中使用有资质的品牌材料、 仪器仪表、元器件及重要部件和计量器等配件， 并提供合格证明书、检验合格证及计量检定书。

成品出货质量控制：

1、依据成品出货检验项目逐一对成品检验， 如（外观、尺寸），整机执行相关性能检测标准，并将检验结果记录与报告，检验完成后作好成品标识。

2、提供详细的出货报告书、合格证、装箱清单、使用说明书及售后服务卡，建立详细的检验数据。

第五条 验收标准、方法

按本合同规定的配置 、 外观及第二条之技术指标 ， 达到即验收合格。

第六条 售后服务

1、安装质量：

1）合同签订后 1 个月内，我方向使用方提供设备所需外围动力条件书面文件，并派人到现场配合进行设备就位、安装和外围动力条件施工验核。

2）设备到使用方后， 由我方负责安装、调试，并按合同要求使设备达到规定的技术指标和功能要求。

2、技术服务：

我方派人安装、调试合格后， 配合使用方的技术人员进行工艺试验和调整设备工作状 态，遇到问题及时处理。在一年包修期内设备出现问题，我方会及时赶到现场， 处理各种问题保证设备达到正常使用状态。同时为用户提供终身维修服务， 质保期外同样提供及时响应式服务，我方会对设备易损件提前备库，上门维修收取部件成本费用即可。