扩散泵主要由泵壳、泵芯、蒸发锅、加热器、冷却水管组成。扩散泵适用于抽除高真空系统中对工作液体无严重危害的气体。当前级泵将扩散泵内抽止10Pa左右的预真空后，在室温下工作液由加热器加热，产生的油蒸汽沿导管向上运动，经几级喷出，将扩散在油蒸汽中的气体带到前级端，由前级泵排除到大气中，油蒸汽喷射在泵壁，遇到冷却后，又回到泵底，由此重复工作达到高真空目的。

K/TK/ULK型金属油扩散泵适用于电子工业、电光源工业、真空镀膜、真空冶炼、化学工业科研等各个领域。对被抽容器进行抽气，使之达到高真空（可达标10-5Pa）目的。

泵壳、泵芯∶不锈钢SUS304 

冷却水管∶紫铜软管

密封圈∶丁腈橡胶

扩散油泵∶SD-DPO-3或275#硅油