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CVD镀膜设备

在石英腔内充入乙炔气和空气,在高温作用下,发生不完全化学反应,析出高纯石墨,镀在工具表面上。 设备特点: 采用不锈钢铠装加热器外加热烘箱,加热...
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在石英腔内充入乙炔气和空气,在高温作用下,发生不完全化学反应,析出高纯石墨,镀在工具表面上。

设备特点:

采用不锈钢铠装加热器外加热烘箱,加热均匀,控温精度高。

一键启动,抽真空,充气,加热,控温控压,石英钟罩和加热烘箱升降全自动。

技术指标:

真空度可以达到1×10-1 Pa

加热温度≤600

温度误差±2




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