在石英腔内充入乙炔气和空气,在高温作用下,发生不完全化学反应,析出高纯石墨,镀在工具表面上。
设备特点:
采用不锈钢铠装加热器外加热烘箱,加热均匀,控温精度高。
一键启动,抽真空,充气,加热,控温控压,石英钟罩和加热烘箱升降全自动。
技术指标:
真空度可以达到1×10-1 Pa
加热温度≤600 ℃
温度误差±2℃