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双真空-超高真空排气台 您的当前位置: 首页 > 产品展示 > 真空应用设备

 

真空器件(X光管)内超高真空、外高真空,进行排气。
X光管内在烘烤除气时,X光管外高真空,管壳金属不氧化。


主真空系统由FF600分子泵,直联旋片泵,超高阀等组成。
辅助真空系统由真空室,直联旋片泵,扩散泵,阀门组成。


超高真空度: 优于 2×10-5 Pa
高真空度: 优于 2×10-3 Pa
加热温度 : 500℃ 可控

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