1.DFYK115超高真空机组，扩散泵为超低返油率扩散泵，此机组专供275#274#硅油的生产厂商提供的检验硅油达到相应的真空度。 

2.扩散泵的油温有传感器、电压调压器可控油温，高真空的法兰均为CF法兰，扩散泵带有通水的水冷冒，提高真空度，BA管测真空。 

 
极限真空度: 优于 2×10-5 Pa

 

 

 

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