1.DFYK115超高真空机组,扩散泵为超低返油率扩散泵,此机组专供275#274#硅油的生产厂商提供的检验硅油达到相应的真空度。 2.扩散泵的油温有传感器、电压调压器可控油温,高真空的法兰均为CF法兰,扩散泵带有通水的水冷冒,提高真空度,BA管测真空。
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